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潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的...

DKG ONE HF 光聲光譜激光氣體分析儀基于結(jié)合超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲檢測(cè)技術(shù)和可調(diào)諧二極管激光源在氟化氫的NIR基本光譜吸收線上工作。這種組合提供了足夠的靈敏度來可靠地測(cè)量氫氣的環(huán)境背景中氟化物水...

增強(qiáng)離子遷移譜氣體分析儀可提供達(dá)100 FWHM的分辨率，足以分辨異構(gòu)體成分。SIMS的一大優(yōu)勢(shì)是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣，這一優(yōu)勢(shì)就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術(shù)通過電暈放電（...

DKG ONE-PFCs分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量?級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于PFCs的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)?...

NOVEC氣體分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量?級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于NOVEC的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)?甚?幾年...

DKG ONE-EtO分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量?級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于EtO的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了超高水平的穩(wěn)定性，重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)?甚?...

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量?級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了?夠的靈敏度可以無時(shí)延的探測(cè)最微小濃度的CF4...

CF4氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測(cè)器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光...

PFCs氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測(cè)器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。PFCs作為一類強(qiáng)效溫室氣體，廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)，光聲光譜...

EtO氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測(cè)器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。EtO廣泛應(yīng)用于醫(yī)療滅菌和工業(yè)化學(xué)處理，光聲光譜技術(shù)利用氣體...